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HMDS涂布机,HMDS涂胶烤箱 工业烘箱

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  • 公司名称上海隽思实验仪器有限公司
  • 品       牌隽思
  • 型       号
  • 所  在  地上海
  • 厂商性质生产厂家
  • 更新时间2023/7/9 9:54:12
  • 访问次数3038
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      上海隽思实验仪器有限公司(以下简称“隽思仪器”)是一家专业从事仪器设备研发、生产、销售及服务的企业。主要生产半导体工艺设备、环境模拟仪器设备、线缆试验机、橡塑试验检测设备、黑蒜设备等的高新技术型企业,具有很强的自主开发、设计能力,服务于电子、电力、通讯、环保、农业,建筑,节能等行业;多年来,公司以“真挚的服务、优质的品质”为宗旨,为国内外广大用户提供了周到的售前、售中、售后服务。赢得了国内外客户的*好评,更为我们业务的快速发展奠定了一定的基础。我们的服务也更精益求精,更完善!
 隽思仪器主要业务有HMDS预处理系统,HMDS烘箱,洁净烤箱,百级洁净烘箱,氮气烘箱,高温无氧烘箱,真空无氧烘箱,无尘无氧化烘箱,抗粘剂涂胶机,精密恒温加热台,快速高低温气流仪,超低温试验箱高低温试验箱,高低温交变湿热箱定做,HMDS真空涂胶烘箱,低温脆性检测仪,黑蒜发酵设备,导体直流电阻测试仪,电线电缆检测仪器,真空烘箱,黑蒜试验机,橡塑检测试验机等。
     不断追求技术进步、提升专业服务能力,做一个专业的仪器设备供应商是我们的发展目标。企业内部实施了CRM、ERP项目管理,在产品开发、质量控制、集成供应链、人力资源管理、财务管理等诸多方面取得了长足发展。同时建立了标准化的服务流程,形成了覆盖全国的快速服务网络,以尽心尽责的服务理念和完备的技术得到用户的*称赞。我们将珍视每一次与您合做的机会,以饱满的热情、真诚的服务与您共创灿烂的未来!




HMDS烘箱,百级洁净烘箱,氮气烘箱,高温无氧烘箱,PI烤箱,真空无氧烘箱,无尘无氧化烘箱,抗粘剂涂胶机,精密恒温加热台,超低温试验箱
类型 真空
HMDS涂布机,HMDS涂胶烤箱用于光刻工艺中基板疏水化处理, HMDS 涂布的原理,较常用的黏附剂是六甲基二硅胺烷(HMDS)。在提升光刻胶的黏附性工艺中,实际上六甲基二硅烷并不是作为粘结剂所产生作用的,而是HMDS 改变了 SiO2 的界面结构,从而使晶圆的性质由亲水性表面转变为疏水性表面。
HMDS涂布机,HMDS涂胶烤箱 工业烘箱 产品信息

HMDS涂布机,HMDS涂胶烤箱原理:

  HMDS涂胶烤箱用于光刻工艺中基板疏水化处理, HMDS 涂布的原理,常用的黏附剂是六甲基二硅胺烷(HMDS)。在提升光刻胶的黏附性工艺中,实际上六甲基二硅烷并不是作为粘结剂所产生作用的,而是HMDS 改变了 SiO2 的界面结构,从而使晶圆的性质由亲水性表面转变为疏水性表面。

  光刻胶与晶圆表面之间的黏附性问题,除了受到分子键合的影响,还受到其他重要因素的影响。如表面的水分就是其中的主要因素,会减少黏附性,从而造成掀胶和侧向腐蚀。HMDS 涂布是涂胶前对硅片表面进行处理,可以增加硅片表面水分子的接触角,使硅片表面从亲水性转化为疏水性。

  HMDS 涂布机采用蒸汽涂布的方式。简单评价晶圆的表面黏附性好坏,可以将晶圆进行 HMDS 涂布,然后在晶圆的表面滴一滴水珠,然后通过测量水珠的接触角,来进行晶圆表面黏附性好坏的判断。接触角的测量方法如下图所示,当接触角角度越大,说明黏附性越好,也就意味着疏水性越强。

HMDS涂布机,HMDS涂胶烤箱技术参数:


项目

隽思JS-HMDS90-AI

内胆大小

450*450*450(可选数据)

cycle run(4寸产品)

200

温度范围

室温+10-250

HMDS加热功能

HMDS流量控制

时间/调压阀,无flow meter

尾气排放

温度精度

分辨率:0.1 波动度:±1℃

真空泵

油泵或爱德华干泵133PA 

载物托架

两层

温度控制

微电脑智能控温仪

Recipe设定

人机交互界面,PLC编程

N2循环

真空/N2 循环

HMDS系统

自动添加、自动吸取、添加量控制

保护装置

紧急停止,跳电保护,超温保护

其他

耐高温手套,说明书


关键词:真空泵
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