光氧等离子废气净化一体化设备是利用电子、各种离子、原子和自由基等活性等离子体和废气中的污染物作用，高效净化、无需添加任何物质、适应性强、低耗节能、安全可靠的特点，使废气物质分子在极短的时间内发生分解，并发生后续的各种反应以达到分解废气的目的。低温等离子体是继固态、液态、气态之后的物质的第四态，当外加电压达到气体的着火电压时，气体被击穿，产生包括电子、各种离子、原子和自由基在内的混合体。放电过程中虽然电子温度很高，但重粒子温度很低，整个体系呈现低温状态，所以称为低温等离子体。
“低温等离子体”设备重量轻，体积小，可按场地要求立放、卧放，可根据废气浓度、流量、成份进行串、并组合设计达到废气净化。 低温等离子体废气处理是一种干法净化过程，是一种全新的净化过程，运行过程无需添加任何添加剂，不产生废水、废渣，不会导致二次污染。
光氧等离子废气净化一体化设备可以分解油雾、废气等污染介质时，等离子体中的高能离子起决定性的作用。废气和恶臭气体经过等离子体电场区，在纳秒级时间范围内流星雨状的高能离子与介质内分子(原理)发生非弹性碰撞，等离子猛烈轰击废气和臭味等污染物分子，产生裂变分解反应，将能量转化成基态分子(原子)的内能，发生激发，离解、电离等一系列过程使污染介质处于活性状态，污染介质在等离子体的作用下，产生高浓度、度、高能量的各种活性基、高能电子、高能离子等，同时产生大量臭氧、原子氧、生态氧等混合气体，进行一系列复杂的分化裂解和氧化还原反应。
