残余气体分析质谱仪 PrismaPlus--四级杆质谱分析仪
上海伯东代理德国 Pfeiffer 残余气体质谱 QMG系列，模块化设计，质量数范围 1-100 amu、1-200 amu 和 1-300 amu。内置四极分析仪、四极电子装置、电源件和Quadera 软件。残余气体质谱 QMG系列离子源配备两组灯丝，适用于多种测量用途，使用寿命长。
Pfeiffer 四极质谱仪 PrismaPlus 主要优势：
1. 模组化设计提供了产品适应性
2. 结构紧凑，性能出众
3. 多种介面，系统集成简单
4. 可通过乙太网网路化
5. 测试过程快速稳定，解析度高
6. 分析器以及电子的可替换性
7. 双灯丝设计保证的可靠性
8. 的可检测分压达1 x 10E-14 mbar
9. 配置Quadera®软体，操作直观
残余气体分析仪 PrismaPlus 技术参数：
| 型号 | QMG 220 F1 | QMG 220 F2 | QMG 220 F3 | QMG 220 M1 | QMG 220 M2 | QMG 220 M3 | ||||
| 检测器 | 法拉第 Faraday (F) | 电子倍增器/法拉第 C-SEM/Faraday (M) | ||||||||
| 质量数 amu | 1–100 | 1–200 | 1–300 | 1–100 | 1–200 | 1–300 | ||||
| 四极杆直径／长度 | 6/100 mm | |||||||||
| 最小检测极限 F mbar | 1X10-12 | 2X10-12 | 4X10-12 | 5X10-12 | 1X10-11 | 2X10-11 | ||||
| 最小检测极限 M mbar | - | - | - | 1X10-14 | < 2X10-14 | < 4X10-14 | ||||
| 对Ar的灵敏度 F A/mbar | 1X10-3 | 6X10-4 | 3X10-4 | 5X10-4 | 3X10-4 | 1.5X10-4 | ||||
| 对Ar的灵敏度 M A/mbar | - | - | - | 200 | 200 | 100 | ||||
| 工作压力 F | 1X10-4 mbar | |||||||||
| 工作压力 M mbar | - | - | - | 1X10-5 | 1X10-5 | 1X10-5 | ||||
| 对临近质量数的影响 | < 10 ppm | < 20 ppm | < 50 ppm | < 10 ppm | < 20 ppm | < 50 ppm | ||||
| 操作温度 F | 150 °C | |||||||||
| 烘烤温度 F | 200 °C / 300 °C | |||||||||
| 连接法兰 | DN 40 CF-F | |||||||||
| 重量 | 2.4 kg | 2.4 kg | 2.4 kg | 3.8 kg | 3.8 kg | 3.8 kg | ||||
残余气体分析质谱仪应用：四极质谱仪 QMG非常适合于检漏，残气分析以及综合定量分析
1. 冶金 2. 真空炉 3. 加速器 4. 溅射工艺分析 5. 半导体生产 6. 玻璃镀膜 7. 研发 8. 真空工艺
上海伯东残余气体分析质谱仪客户案例一：分子束外延 MBE 气体分析
上海伯东残余气体分析质谱仪客户案例二：对 XPS 系统的分析室残余气体进行定性和半定量分析
上海伯东残余气体分析质谱仪客户案例三：分析真空钎焊过程中产生的气体成分和含量
1.设计紧凑
PrismaPlusTM是新型定量定性气体分析和检漏的质谱仪。该四极质谱仪积累了丰富的应用经验，高灵敏度，高稳定性和智慧化操作的结合是 PrismaPlusTM 四极质谱仪新的优点。在适用中客户将感受到它坚固，紧凑的设计和简单的系统集成，并从中受益。
2.应用范围广阔
通过可选择质量数范围，检测器、离子源和介面介面等，该四极质谱仪可以应用于多个领域，例如：工业和分析领域、研发、检漏、半导体生产以及镀膜工艺等。PrismaPlusTM 四极质谱仪是从*，残气分析直至综合的定量分析工作等应用领域的方案。
3.检测速度快，灵敏度高
PrismaPlusTM 四极质谱仪可 以在三个不同的质量数范围（1-100，1-200，1-300 amu）内，下至检测极限1*10-14 mbar 情况下给出精确的检测结果。在真空系统中，配合有效的法拉, 第和电子倍增检测仪，即使很低程度的污染也可以被快速地识别出来。除显示可选择的分压外，直接增加一个压力量规，PrismaPlusTM 四极质谱仪就可以作为一个精确的全压监控器使用。
4.智慧化的软体
Quadera 软体不仅操作简单，它还提供了捕获和观察所有测试资料以及参数记录的易读平台。结合多种可供选择的介面介面，例如乙太网，数位式和类比式输入输出，可以方便地集成到各种系统中去。轻点滑鼠就可以启动预设的功能。
PrismaPlusTM 四极质谱仪尺寸及配件：
Pfeiffer 气体质谱分析仪：上海伯东真空产品事业部是德国 Pfeiffer 销售维修中心，我司是国内代理 Pfeiffer 产品的公司，99% 并提供 Pfeiffer 全系列真空产品的售后维修服务。
