半导体超纯水
美国总统签署了《2022芯片与科学法案》，设置“中国护栏”条款，限制企业在中国芯片产业的发展。事实上，中国芯片产业被卡脖子由来已久，原料、技术、供应链等方方面面深受外国掣肘，甚至是我们最常见的水，当然，这里的水指的并不是我们日常生活中的自来水，而是“超纯水”。
超纯水是指电阻率达到18 MΩ*cm(25℃)的水。这种水中除了水分子外，几乎没有什么杂质，更没有细菌、病毒、含氯二噁英等有机物，也没有人体所需的矿物质微量元素，也就是几乎去除氧和氢以外所有原子的水。
产品介绍：
Onyx的EX-UPW-TOC产品主要由高透185nm的紫外灯管，高输出石英套管，内外电解抛光的一体化紫外反应器，高度精确的UV强度传感器及智能自控系统组成。
185nmUV主要用于生产超纯水过程中去除TOC有机物，降低TOC出水指标，使出水满足美国ASTM超纯水水质标准及电子工业部电子级水水质标准。
电子级水UV-TOC控制系统
半导体超纯水产品规格：
| 处理水量 | 2~60m3/h |
| 灯管配置 | 12~48支 |
| 灯管类型 | 85w/155w(185/254nm双波段) |
| 石英套管 | T＞80%@185nm |
| 镇流器 | 50~100%输出功率可调 |
| 反应器材质 | 316L |
| 洁净等级 | 内外电解抛光、表面光洁度10以上（≤Ra0.2） |
| 法兰尺寸 | DN50~DN200 |
| 额定压力 | PN10 |
| 控制柜等级 | IP55，碳钢喷塑 |
| 控制系统 | 本地/远程、触摸屏、连接SCADA系统 |
| UV强度传感器 | 分辨率0.01mw/cm2 |
集成电路超纯水应用领域：
1. 半导体材料、器件、印刷电路板和集成电路板
2. 电解电容器生产铝箔及工作件的清洗
3. 电子管生产、电子管阴极涂敷碳酸盐配液
4. 黑白显像管荧光屏的生产、波壳清洗、沉淀、洗膜、管颈清洗
5. 液晶显示器的生产、屏面清洗
6. 集成电路生产中高纯水清洗硅片
7. LCD液晶显示屏、PDP等离子显示屏的生产
