半导体超纯水介绍
随着半导体工业的不断发展，对清洁水的电导率、离子含量、TOC、do和颗粒物的要求越来越严格。由于超纯水在许多指标上对半导体的要求很高，因此半导体行业的超纯水与其他行业的用水要求不同。半导体行业对超纯水有严格的水质要求。目前，半导体所用的超纯水需要达到的水质标准为:我国电子工业部电子级水质技术标准(18MQ.cm、15MO.cm、10MO.cm、2M.O.cm、0.5M.O.cm五级标准)，我国电子工业部高纯水水质试行标准，国内外大规模集成电路水质标准等。
那么，如何产出高质量的半导体超纯水?
建议采用“两级RO+EDl+精混床除盐水处理工艺”这类的超纯水设备，可保证处理后的水电阻和电电阻达到18MO.cm以上。除了采用以上工艺外，结构设计也需要相对紧凑，这样一来占地面积小可为企业节省大量建设空间。这种半导体超纯水设备出厂前都是需进行压力测验的，所以出现故障概率小。还可以配备反渗透预脱盐技术，再次从根本上确保了水处理设备的出水质量。
电子级水UV-TOC控制系统
半导体超纯水介绍产品规格：
| 处理水量 | 2~60m3/h |
| 灯管配置 | 12~48支 |
| 灯管类型 | 85w/155w(185/254nm双波段) |
| 石英套管 | T＞80%@185nm |
| 镇流器 | 50~100%输出功率可调 |
| 反应器材质 | 316L |
| 洁净等级 | 内外电解抛光、表面光洁度10以上（≤Ra0.2） |
| 法兰尺寸 | DN50~DN200 |
| 额定压力 | PN10 |
| 控制柜等级 | IP55，碳钢喷塑 |
| 控制系统 | 本地/远程、触摸屏、连接SCADA系统 |
| UV强度传感器 | 分辨率0.01mw/cm2 |
集成电路超纯水应用领域：
1. 半导体材料、器件、印刷电路板和集成电路板
2. 电解电容器生产铝箔及工作件的清洗
3. 电子管生产、电子管阴极涂敷碳酸盐配液
4. 黑白显像管荧光屏的生产、波壳清洗、沉淀、洗膜、管颈清洗
5. 液晶显示器的生产、屏面清洗
6. 集成电路生产中高纯水清洗硅片
7. LCD液晶显示屏、PDP等离子显示屏的生产
