sakaguchi-dennetsu微型 ALN 热板MTP-500
sakaguchi-dennetsu微型 ALN 热板MTP-500
板材采用导热性高、可靠性高的氮化铝。
由于温度传感器内置于加热器中，因此可以进行精确的温度控制。
特征
温度分布
由于板面均匀结合了小面积、大容量的发热体，温度分布良好。
它可以在 400°C 或更低的正常温度下使用（最大.温度控制
加热器内置温度传感器，可实现精确的温度控制。导热
板采用高导热、高可靠性的氮化铝。
标准规格
| 类型名称 | MTP-500 |
|---|---|
| 产品代码 | MTP500 |
| 加热器等级 | 100V *330W±25%（瓦特密度：13.2W/cm 2） |
| 内置热电偶 | K 型热电偶（内置于加热器中） |
| 工作温度 | 气氛：正常使用 400°C 500°C Max 真空中：正常使用 400°C 500°C Max（取决于真空压力条件） |
| 板块面积 | 50×50mm |
*容量为室温下的容量。请注意，它会随着温度升高而降低。
用途
半導体ウェーハ製造加熱用、液晶ディスプレイ基板加熱用
CVD、スパッタリング、プラズマエッチングの熱処理用
プラスチック、ゴム等の予熱?成型ホットプレス金型
各種化学機器、試験装置の加熱基盤
電子材料、新素材の開発試験用
製作仕様 （全品受注生産）
| 温度範囲 | ～900℃ |
|---|---|
| 熱板材質 | アルミ、SUS304、SUS316L、ハステロイC、インコネル600、石英 |
| 表面処理 | アルマイト、タフラム、ニッケル、クロム等処理 |
| 使用雰囲気 | 大気中、真空中、不活性ガス及び各種処理ガス中 |
| 温度分布濃度 | 仕様要求温度に応じて有効ゾーン内設定温度の±1%（℃）可能 |
| 温度センサー | 主にシース熱電対を熱板内に設置使用 |
