sakaguchi-dennetsu加热器ExLASER
sakaguchi-dennetsu加热器ExLASER
特征
超快速加热和冷却是可能的
一次性均匀加热 2 英寸基板
可以只对被加热物直接加热
可以进行适合工艺的温度控制
无需加热大气即可实现节能
MBE 设备的基板加热
晶圆退火（SiC、GaAs等）
多层结构器件的表面层退火是可能的（用于小型化器件）
标准规格
| 型号：EXL-CT-010-DS55 | |||
|---|---|---|---|
| 激光照射方式 | 直接型 | 身体尺寸 | H625mm x W700mm x D320mm |
| 激光输出 | 高达 1kW | 配件 | 专用冷水机 |
| 激光波长 | 808nm | 评分 | 本体：1P200V20A 冷水机：1P200V15A |
| 激光形状 | 正方形 | ||
| 光学系统（均匀性） | 均质器 (±5%) | 评论 | JST原创造型 开发品（2005年度） |
| 加热区 | □ 55mm | ||
| 工作距离 | 400mm~ | ||
*以上为标准规格。可根据客户要求更改。
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