产品详情
规格参数:
?旋涂基材6英寸或更小
?包括三个真空旋转卡盘
?用于手套箱的占地面积小
?易于使用的触摸屏界面
?可编程旋涂工艺
?耐用的设计以及耐化学腐蚀的材料
?耐化学腐蚀HDPE旋转碗
?耐用的不锈钢机身,具有耐化学腐蚀的透明旋转盖
?4.3”触摸屏界面
?基板尺寸:从1厘米到6英寸晶圆
?转速范围:100-12000 RPM
?转速分辨率:1RPM
?加速范围:空载100-30000 RPM / s
?程序:10个旋转程序,每个程序有10个步骤
?安全:真空联锁和旋转盖联锁
?尺寸:270(W)*387(D)*258(H)