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规格参数：
1.测量范围：X=500mm，Y=600mm，Z=400mm
2.空间测量示值误差：E≤3.5+L/250µm
3.分辨率：0.5µm
4.zui大承受重量：300kg
5.仪器重量：550kg
6.外型尺寸：x=950mm，y=1050mm，z=2000mm
7.环境要求：
l 温度范围：20±2℃，0.5℃/h
l 气源压力： 0.6MPa～0.8MPa，200L/min（0.4MPa）
l 湿度范围：45%-65%
l 电源： 220V±10% ，50Hz
l 功率：1200瓦
l 地面振动：频率范围：0～6Hz， 6～50Hz， ＞50Hz
振 幅：7.6µm， 2.5µm， 7.6µm
描述：
1.整体式的花岗岩工作台，使其具有承载能力强、工件放置空间宽阔、装卸便捷的特点；
2.三轴导轨均采用优质花岗岩，使三轴具有相同的温度特性，因而具有良好的温度稳定性、抗时效变形能力，刚性好、几何变形zui小；
3.非线性弹簧系统的应用，降低了导轨微小误差对测量精度的影响，同时保证设备具有更高的环境温度适应性；
4. 全部导轨采用高精度的空气轴承，环抱式的导轨设计提高了机器的刚性和稳定性，即使长时间工作也能保持很高的精度，确保了机器优异的动态特性
5. Z轴扭转是决定测量机精度的重要环节，可靠的防转结构设计使得即使在使用测头加长杆时也能获得很高的精度。
6. Z轴采用重力平衡装置，可靠程度高，运动更平稳、顺畅。
7.三轴快速移动、锁紧、微调采用一键式转换。只用轻轻一扳空气锁紧装置对应的开关，便可将各轴由快速移动状态转换至锁紧状态，锁紧后可通过X、Y、Z轴微调旋钮方便的移动各轴。在对工件的狭小部位进行检测时，此功能体现的尤为充分；
8.长度测量系统采用国外进口高精度反射式金属带状光栅尺和读数头，具有*的精度和精度稳定性
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